西安勵(lì)德微系統(tǒng)科技有限公司是一家專(zhuān)業(yè)提供MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)一體化解決方案的技術(shù)創(chuàng)新企業(yè)。公司新建千平6寸MEMS產(chǎn)線(xiàn)一條,涵蓋深硅刻蝕、雙面光刻、薄膜、清洗、晶圓鍵合和隱形劃片等全產(chǎn)業(yè)鏈工藝設(shè)備和對(duì)應(yīng)的測(cè)試能力,研發(fā)中試線(xiàn)能夠完成從器件設(shè)計(jì)、工藝開(kāi)發(fā)、工藝驗(yàn)證到批量生產(chǎn)等全產(chǎn)品孵化流程,為國(guó)內(nèi)眾多科研院所、創(chuàng)新企業(yè)和高等院校提供了切實(shí)可行的定制化MEMS加工解決方案。